任何形状都是由三维空间点组成的，一切的几许量丈量都可以归结为三维空间点的丈量，因而进行空间点坐标的收集，是鉴定任何几许形状的根底。 三坐标丈量机的基本原理是将被测零件放入它答应的丈量空间范围内，测出被测零件外表的点在空间三个坐标方位的数值，将这些点的坐标数值经过核算机处理，拟合构成丈量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学核算的办法得出其形状、方位公役及其他几许量数据。
依据以上原理，三坐标丈量仪可定义为一种具有可作三个方向移动的探测器，在三个彼此笔直的导轨上移动，此探测器以触摸或非触摸等方法传送信号，三个轴的位移丈量体系 ( 如光学尺 ) 经数据处理器或核算机等核算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项能丈量的仪器”。在做丈量作业时，工人将丈量工件固定在特制夹具上，保证工件停止动，丈量机的传感器经过三个坐标轴导轨灵敏移动，探针体系经过旋转，由 丈量软件完结几许尺度的丈量和形状方位公役的点评，经SPC导出丈量陈述和核算点评指标值，然后监控工件精度。”
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